FORTBILDUNG

Nanoanalytik

  • 10.05. - 11.05.2017
  • Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme
  • Dresden

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Beschreibung

Hochauflösende analytische Verfahren sind sowohl für die Entwicklung und Einführung neuer Nano- und Dünnschichttechnologien als auch für die Integration neuartiger Materialien in High-Tech-Produkte entscheidend. Nanoanalytik wird zunehmend für die Prozess- und Materialcharaktersierung während der Fertigung von nanostrukturierten Systemen und Bauelementen sowie zur Beschreibung nanoskaliger Gefügebereiche in Werkstoffen erforderlich. Daher werden Forschungs- und Entwicklungsarbeiten auf neue analytische Verfahren zur Untersuchung von dünnen Schichten und Nanostrukturen gerichtet. Applikations-spezifische Entwicklungen zeigen häufig, dass die Kombination mehrerer Analytik-Methoden notwendig bzw. sinnvoll ist, um die Entwicklung und Kontrolle von Prozessen in der Nanotechnologie bzw. die Sicherung von Performance und Zuverlässigkeit neuer Produkte zu gewährleisten.

Zahlreiche neue Entwicklungen auf dem Gebiet der Nanoanalytik ermöglichen die Abbildung sowie die strukturelle und chemische Charakterisierung von Strukturen im Bereich < 100 nm, bis hin zu atomaren Dimensionen. Die Eignung eines Verfahrens für Forschung und Entwicklung oder zur Prozesskontrolle in der Fertigung wird durch die Methode selbst, insbesondere ob sie zerstörend oder zerstörungsfrei ist, sowie von der erforderlichen Mess- und Analysezeit („time-to-data“) bestimmt. Ausgehend von einer kurzen Einführung zur Nanoanalytik werden in diesem Kurs neue Verfahren zur Charakterisierung von dünnen Schichten, von Nanostrukturen und von Nanoteilchen erläutert. Dabei werden neue Erkenntnisse aus der Grundlagenforschung vorgestellt sowie applikationsspezifische Lösungen aufgezeigt. Die Herausforderungen an die Analytik im nm-Bereich, wie sie sich in der industriellen Fertigung zeigen, werden am Beispiel der Rasterelektronen- und Ionenstrahlmikroskopie vorgestellt. Spezielle Anwendungsbeispiele aus Mikro-, Nano- und Optoelektronik, Energietechnik und Leichtbau werden demonstriert, nanoanalytische Untersuchungen an metallischen, anorganisch-nichtmetallischen und organischen Werkstoffen besprochen. Die Referenten sind Fachleute, die sowohl aus Forschung und Lehre als auch aus der industriellen Praxis kommen.

Das Seminar wendet sich gleichermaßen an Wissenschaftler, Ingenieure und Techniker in der Industrie, die in der Fertigung, Prozess- und Qualitätskontrolle sowie F&E tätig sind, aber auch an Mitarbeiter aus Forschungsinstituten und Hochschulangehörige, die sich mit neuen nanoanalytischen Verfahren vertraut machen wollen.

Ansprechpartner

Prof. Dr. Ehrenfried Zschech

Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme


Dr. Horst Borrmann

Max-Planck-Institut für Chemische Physik fester Stoffe


Dr. André Clausner

Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS


Prof. Dr. Lukas Eng

Technische Universität Dresden


Aránzazu Garitagoitia Cid

Technische Universität Dresden


Dr.-Ing. Jürgen Gluch

Technische Universität Dresden


Jörg Heber

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme


Dr. Pradeep Konda Gokuldoss

Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH


Dr. Eckhard Langer

GLOBALFOUNDRIES


Dr. Uwe Mühle

Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme


Dr. Annegret Potthoff

Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS


Dr. Jan-Uwe Schmidt

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme